产品简介
氧91成人看片下载体去胶机主要用于对显影后的晶圆进行去胶处理,以清除残留的光刻胶。氧91成人看片下载体去胶的制程原理是利用被解离的、化学性质活泼的氧离子和主要成分是C和H的光刻胶反应,生成气态的CO2、CO和H2O,然后被真空泵抽走,实现光刻胶的去除,这个工艺通常又被称为灰化工艺。
采用气体离子化的方式来轰击去除光刻胶,保证了器件的完整性。区别于强酸强碱、高温法,该方法通过精确控制气体流量比例,达到了不损伤电镀金属等集成结构的目的。氧91成人看片下载体去胶机适用于玻璃、金属种子层、硅片、压电陶瓷等各类衬底,通过氧91成人看片下载清洗不仅可以去除表面的残胶,还能活化衬底,改善其表面的亲水性能。
产品参数
型号 | NE-PE13FH |
功率 | 0-300W可调 |
91成人看片下载发生器 | 13.56 MHz,自动阻抗匹配 |
腔体材质 | 316 不锈钢 |
腔体容积 | 13.5L |
腔体尺寸 | 240(L)*280(D)*200(H)mm |
有效处理面积 | 210(L)×204(D)mm(8寸晶圆及以下) |
处理层数 | 3层 |
气体流量控制器 | MFC质量流量计, 0-300ML |
气路数量 | 2路(可增加) |
极限真空度 | 1PA |
真空测定系统 | 皮拉尼真空硅管 测量范围:1.0×10 5 ~1×10 -1 Pa |
真空泵 | 干泵/油泵(可选) |
控制系统 | PLC+触摸屏 |
电源供应 | 220V |
外形尺寸 | 553mm(L)×553mm(W) ×732 mm(H) |
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